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多路混合气体CVD管式气氛炉

产品分类:多路混合气体管式炉

发布日期:2020-1-24 10:40:25

市场价格:¥50000.00

本站价格:¥25000.00

产品简介:

多路混合气体CVD管式气氛炉产品介绍:

该款CVD系统, 可以分为低温、中温、高温三种加热形式,加热元件可分为电阻丝(1200℃以下使用)、硅碳棒(1400℃以下使用)、硅钼棒(1700℃以下使用)等;

CVD管式炉由供气系统、加热系统、真空系统等组成;

1)加热系统可以分单温区、双温区、三温区、多温区等;

2)真空系统可分为低真空和高真空,最高极限真空可以达到10-4Pa(分子泵组);

3)供气系统是流量调节用户可选质量流量计或浮子流量计,混气路数用户可选2路、3路、4路、5路、6路等相混合(主要根据客户工艺要求定制);

炉底(可选)配安装一对滑轨,可用手滑动(主要适用于1200℃以下加装滑轨)。可以达到快速升降温的目的,为取得最快加热速率,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品区。可在样品加热后移动炉子到另一端,实现快速降温功能。

多路混合气体CVD管式气氛炉主要用途:

应用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品

多路混合气体CVD管式气氛炉主要功能和特点:

1、 1200℃炉盖可打开,可以随时观察加热的物料,并能迅速降温,满足材料热的实验需要;

2、 炉膛采用日本技术真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维制成,保温效果好,耐用节能,反射率高、温场均衡,等特点;

3、1)、加热元件采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2,最高发热温度可达1200℃;

     2)、加热元件采用优质硅碳棒,最高发热温度可达1400℃;

     3)、加热元件采用高温硅钼棒,最高发热温度可达1700℃;

4、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。

5、炉管采用高纯石英管高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小,能承受热的温度

6、采用KF快速法兰密封,仅需要一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能;减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能

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